德國(guó)Hellma氟化鈣（CaF?）在半導(dǎo)體微光刻中作為關(guān)鍵光學(xué)材料，憑借其從深紫外到紅外的高寬帶透射率、低折射率、低光譜色散及優(yōu)異的激光耐久性，成為投影和照明光學(xué)中準(zhǔn)分子激光光學(xué)器件的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)材料，支撐7nm及以下制程芯片制造。

　　核心技術(shù)壁壘與質(zhì)量控制

　　單晶生長(zhǎng)：布里奇曼法制備低缺陷、高均勻性單晶，氧/金屬雜質(zhì)≤1ppm，減少散射與吸收損耗。

　　精密加工：亞納米級(jí)表面粗糙度、無應(yīng)力拋光，控制雙折射與波前畸變。

　　激光耐久性：193/248nm準(zhǔn)分子激光長(zhǎng)期輻照（>109脈沖）無損傷，適配光刻機(jī)高產(chǎn)能需求。

　　定制能力：按NA、波長(zhǎng)、接口定制尺寸/取向/鍍膜，匹配光刻機(jī)設(shè)計(jì)。

　　在半導(dǎo)體微光刻中的應(yīng)用

　　投影和照明光學(xué)：Hellma氟化鈣作為投影和照明光學(xué)中準(zhǔn)分子激光光學(xué)器件的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)材料，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造中的光刻機(jī)物鏡系統(tǒng)。其優(yōu)異的光學(xué)性能確保了光刻過程中激光的高效傳輸和精準(zhǔn)聚焦，從而實(shí)現(xiàn)了納米級(jí)芯片圖案的曝光。

　　深紫外光刻系統(tǒng)：在193nm光刻機(jī)中，Hellma氟化鈣用于光刻物鏡，配合193nm準(zhǔn)分子激光實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的芯片圖案曝光。其低吸收與高均勻性保障了光刻分辨率，是45nm及以下節(jié)點(diǎn)制程的關(guān)鍵材料。

　　DUV激光器：Hellma氟化鈣還用于準(zhǔn)分子激光器（如ArF，波長(zhǎng)193nm）的輸出窗口，可承受高頻次、高強(qiáng)度激光照射，確保激光器的穩(wěn)定運(yùn)行和長(zhǎng)壽命。

　　供應(yīng)鏈與選型要點(diǎn)

　　供應(yīng)鏈定位：光刻級(jí)CaF?核心供應(yīng)商，供應(yīng)ASML等頭部設(shè)備商，高市場(chǎng)占比約35%。

　　選型建議：

　　193nmArFi選Lithotec®光刻級(jí)+增透膜，嚴(yán)控雙折射與表面缺陷。

　　248nm選標(biāo)準(zhǔn)光刻級(jí)，平衡成本與性能。

　　真空窗口選低放氣率+抗輻射級(jí)，適配腔體環(huán)境。

　　HellmaMaterials半成品的優(yōu)勢(shì)：

　　材料尺寸的靈活性：為您的具體需求量身定制解決方案。

　　優(yōu)化性能：實(shí)現(xiàn)高的光學(xué)精度和效率。

　　可靠性：信任經(jīng)過驗(yàn)證且使用壽命長(zhǎng)的材料。

　　質(zhì)量控制：所有測(cè)量技術(shù)均在內(nèi)部進(jìn)行，包括激光實(shí)驗(yàn)室。